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工業用顕微鏡
多様性

見えなかったものが見える:MIX観察

BXシリーズのMIX観察は、明視野や簡易偏光や蛍光などと暗視野の照明方法を組み合わせることで、従来にはない見えを実現します。また、暗視野照明は任意の4方向から照射でき、対象物を効果的に強調できます。

見えなかったものが見える:MIX観察
手動フォーカスハンドルで簡単に深度合成

手動フォーカスハンドルで簡単に深度合成

PRECiVを使うと、段差のある複雑な表面形状のサンプルも全面にフォーカスが合った画像を簡単に作成できます。上から下へ(または下から上へ)フォーカスハンドルを手で回すだけで、シャープな全焦点画像がリアルタイムでモニター上に作成され、保存できます。

明部も暗部も同時に見やすく

独自の画像処理アルゴリズムにより、露出時間を変えた複数枚の画像を自動取得し、合成します。ハレーションを抑えたりコントラストを強調したりできるため、金属の微細構造、プリント基板、複合材の観察等で威力を発揮します。

HDRで暗部と明部を同時に最適露光された画像

HDRで暗部と明部を同時に最適露光された画像
サンプル:燃料噴射バルブの表面

HDRでコントラストが強調された画像

HDRでコントラストが強調された画像
サンプル:マグネサイト(天然石)の薄切片

硬貨のインスタントMIA(Multiple Image Alignment)画像

硬貨のインスタントMIA(Multiple Image Alignment)画像

手動ステージで簡単にパノラマ撮影

電動ステージがなくても、手動ステージのXYハンドルを動かすだけ画像貼り合わせが行えます。自動パターンマッチング方式を採用し、PRECiVでは驚くほどの速さで、顕微鏡の視野範囲を超えた広範囲の画像を作成できます。

簡易計測から高度な画像解析まで

基本的な計測

品質管理と検査には、画像の計測機能が欠かせません。PRECiVは、すべてのメインライセンスで、距離、角度、矩形、円、楕円、多角形などの基本的な計測機能をシンプルなマウス操作で実施できます。すべての計測結果は画像ファイルとともに保存され、Excelに出力したり、あとでレポート作成に利用できます。

基本的な計測
カウントと計測(粒子解析)

カウントと計測(粒子解析)

工業検査では多数の対象物を計測し、サイズ別に計測結果を分類する定量分析が頻繁に必要となります。PRECiVの「カウントと計測」を使うと、強力な粒子検出力を駆使して多数の粒子の一括計測が可能です。同時に、見やすく色分けされた棒グラフなども作成できます。

マテリアルソリューション

PRECiVのマテリアルソリューションは、画像解析のために、直感的でワークフロー重視のインターフェースを備えています。どの機能をどの順番で使うかを覚えいなくても、ガイダンスに従って進んでいくだけで、特定の検査目的に必要な解析結果を簡単に得ることができます。
結晶粒度の算出や黒鉛球状化率などの目的に応じて、各種工業規格に 対応しています。

マテリアルソリューション

粒度解析(計数法)による二相面積率の算出

3Dサーフェイスビュー

3Dサーフェイスビュー
(サンプル:粗さ試験片)

シングルビューと3Dプロファイル計測

シングルビューと3Dプロファイル計測

3D画像・3D計測

測定基準や品質管理の要求の高まりにより、材料分析や不良分析の一つとして、3次元での評価も欠かせません。他社製電動Zユニットを使用すると、サンプルの立体的特徴を視覚的に捉えることができ、高さ方向の簡易計測も可能です。

※PRECiV Ver1.2で対応予定

PRECiVについてさらに詳しく

さまざまなサンプルに対応

新開発のXYステージは150×100mmストロークで、従来モデルより移動距離が伸びたため、より大きなサイズのサンプルや複数サンプルの配置が可能です。6インチウエハ用の回転ホルダーはステージ中心からずらして搭載する設計のため、移動範囲が100mmでもウエハホルダーを回せば、ウエハ全面の観察が可能です。また、ステージのトルクやハンドルグリップにより、視野が狭くなる高倍率での観察位置の微調整がスムーズに行えます。ステージプレートは、取り付け用のねじ穴を備えているため、特殊なサンプルを固定するためのカスマイズや市販ホルダーの取り付けが可能です。

背の高く重いサンプルも快適に観察可能

かさ上げユニットを使うことで高さ最大105mmのサンプルをステージに配置できます。フォーカス機構の改善により、ステージは最大3kgのサンプル(ホルダー含む)に対応できます。

BX53MRF-S

BX53MRF-S

BXFM

BXFM

顕微鏡のステージに載らないサイズのサンプルにも対応

顕微鏡ヘッドのみのBXFMシステムでは、通常の顕微鏡ステージには載らない巨大なサンプルにも対応できます。また、用途に応じてさまざまなモジュールを組み合わせてお客さまに最適なシステムを構築したり、他の装置に組み込むことも可能です。

ESD互換性:電子機器を静電気から保護

BX53Mは、人体や環境要因によって発生する静電気から電子機器を保護する静電気放電(ESD)機能を備えています。

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