オリンパスでは独自の光スキャナーを搭載しています。

X軸には電磁駆動型のMEMS共振スキャナー、Y軸にはガルバノスキャナーを採用し、2軸が一体構造となっています。これにより、XYスキャナーを対物レンズの瞳位置と厳密に共役な位置に配置でき、2軸が別体で配置される近接ガルバノ方式と比べ、スキャン軌跡の歪みと光学系の収差の少ない優れたXYスキャンが得られます。OLS5000ではスキャナMEMS共振スキャナー設計の見直しにより、スキャン軌跡の歪みと光学系の収差が大幅に改善されました。