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概要
平面用高精度レーザー干渉計KIF-402は高性能、低価格を実現した、4インチ対応のコンパクトな縦型タイプの干渉計システムです。
小型・簡単操作
小型で設置場所にスペースを取らないため生産現場での使用に適しています。また被検物のセット、アライメント等がスピーディにできます。
測定口径2段切り換可能
ハードディスク基板サイズに適した倍率に切り換えができますので、ハードディスク測定面一杯にして測定できます。
豊富なオプション群
各種ø102参照レンズ(Zygoマウント互換)が使用できます。干渉縞解析装置(KIF-FU100)を取り付ければ高精度な縞解析が可能です。
口径ø152にも対応可能
オプションのアパーチャコンバータを使用すれば6インチ口径に変換できます。
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