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非接触・表面粗さの評価 - 面領域での画像取得


レーザー顕微鏡による微細形状測定

メモリーカード
メモリーカード

(1)アプリケーション

メモリーカードはmicroSDカードやXDピクチャーカードの他にも様々な大きさがあり、デジタルカメラや携帯電話、ICレコーダーなどの記録媒体として世の中に広く利用されています。これらのカードを機器本体にあるスロットに抜き差しして使用しますが、その際カードの表面の粗さが抜き差しする時のスムーズさに影響しその商品性に寄与します。

(2)オリンパスのソリューション

オリンパスの3D測定レーザー顕微鏡LEXTは高分解能かつ高精度な三次元形状測定と共焦点光学系による高解像でクリアな画像を取得することが可能です。従来の接触式粗さ計では1ラインの高さプロファイルしか得られないのに対し、LEXTではISO25178に準拠した粗さ(三次元)パラメーターを用い、非接触かつ面領域での評価を行うことができます。一見ランダムに見える凹凸は広く面で評価する方がより適しているので線粗さよりもより多くの情報量が得られます。また、オートステージを標準仕様としているので、座標を登録して連続撮影機能を使えば、面内の複数箇所のデータを容易に取得することが出来ます。

画像

(1)サンプルA (対物20× 実視野 640um)

測定箇所1

測定箇所1

測定箇所2

測定箇所2

測定箇所3

測定箇所3

Sq [µm] Sa [µm] Sz [µm] Sku [µm]
1 3.5 2.897 26.501 2.518
2 3.766 3.033 30.446 2.966
3 3.626 2.955 25.5 2.741
平均 3.631 2.962 27.482 2.742
標準偏差 0.133 0.068 2.615 0.224


(2)サンプルB (対物20× 実視野 640um)

測定箇所1

測定箇所1

測定箇所2

測定箇所2

測定箇所3

測定箇所3

Sq [µm] Sa [µm] Sz [µm] Sku [µm]
1 1.608 1.259 17.946 3.833
2 1.579 1.241 18.158 3.86
3 1.646 1.296 22.166 3.936
平均 1.611 1.265 19.423 3.876
標準偏差 0.034 0.028 2.378 0.053
Olympus IMS
この用途に使用される製品

LEXT OLS5000は、非接触・非破壊で微細な3D形状の観察・測定が可能なレーザー顕微鏡です。 サブミクロンオーダーの微細な形状測定に優れ、スタートボタンを押すだけでオペレーターの習熟度に左右されない測定結果を得ることができます。 従来比4倍のデータ取得速度を実現し、専用長作動距離レンズや拡張フレームにより従来諦めていたサンプルも測定できるようになりました。
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