Evident LogoOlympus Logo
事例・お役立ち資料
アプリケーションノート
リソースに戻る

グレースケールマスクによって成型したフォトマスクレンズアレイの形状評価-レーザー顕微鏡による非接触3D表面形状測定


1. アプリケーション

複雑な形状のマイクロレンズの金型を製造する技術として、高品質の3Dマイクロストラクチャーを実現するグレースケールマスクが注目されています。このグレースケールマスクでは、複数階調のレーザーを直接レジストに照射して3Dのパターンニングをするため、現像後の状態を3Dで形状測定することが必須となります。形成されたレジスト像の3Dパターンはダメージに弱いため、非接触での測定が要求されます。

2. オリンパスのソリューション

オリンパスの3D測定レーザー顕微鏡LEXTは、非接触でグレースケールマスクの凹凸形状を高分解能かつ高解像で3次元的に取得できます。高N.A.の専用対物レンズと、405nmレーザー性能を最大限に引き出す専用光学系により、凹凸の斜面の形状も正確に捉えることができるため、より信頼性の高い3次元形状の再現が可能です。試料の形状測定のほかにも、レーザー微分干渉により微小凹凸を明瞭に可視化することができます。

凹パターン

対物レンズ50x ズーム1
対物レンズ50x ズーム1
対物レンズ50x ズーム1
対物レンズ50x ズーム1
対物レンズ100x ズーム1
対物レンズ100x ズーム1

凸パターン
対物レンズ50x ズーム1
対物レンズ50x ズーム1
対物レンズ50x ズーム1
対物レンズ50x ズーム1
対物レンズ100x ズーム1
対物レンズ100x ズーム1


参考

グレースケールマスクによるレンズ製造工程

Step 1

  1. レジスト塗布
    レジスト塗布
    ガラスの上にレジストを塗布する。
     
  2. 描画(レーザー照射)
    描画(レーザー照射)
    複数階調のレーザー光を照射し、ポジレジストを作る。
    これにより照射箇所は感光し柔らかくなる。
     
  3. 現像液につける
    現像液につける
    現像して不要な部分のレジストを除去する。ここでの3D形状評価が品質管理上重要である。

Step 2

  1. 電鋳
    電鋳
    レジストにめっきをする。
     
  2. エッチング
    エッチング
    エッチングでレジストを溶かし、メッキを反転させて原版(金型)の完成。

Step 3

  1. 原版にフィルムを熱圧着
    原版にフィルムを熱圧着
     
  2. インプリント
    インプリント
    原版からフィルムをはがし、反転させる。
     
  3. 樹脂成型
    樹脂成型
    フィルムに樹脂を流し込む。
     
  4. 完成
    完成
    樹脂を固め、フィルム型から外してレンズが完成。

Olympus IMS

この用途に使用される製品

LEXT OLS5100は、非接触・非破壊で微細な3D形状の観察・測定が可能なレーザー顕微鏡です。 サブミクロンオーダーの微細な形状測定に優れ、スタートボタンを押すだけでオペレーターの習熟度に左右されない測定結果を得ることができます。 また、新開発の『実験トータルアシスト』により、実験計画作成からデータ取得・解析、分析・データ出力までを一括管理することで、人為的なミスを低減し、手戻りを防ぎます。ISO/IEC 17025認定校正に対応しています。

このページはお住まいの地域ではご覧いただくことはできません。
Let us know what you're looking for by filling out the form below.
このページはお住まいの地域ではご覧いただくことはできません。