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極細チューブ加工の品質管理-レーザー顕微鏡による微細エリア表面粗さ解析


アプリケーション

さまざまな製品の小型化への要求が高まる中で、それに用いる部品もさらなる小型化が求められています。半導体検査用のプローブカードや、医療機器で使用されるような極細の金属チューブもその一つです。現在では、最も細いもので人間の髪の毛よりも細い直径10μmという超極細の金属チューブも製造が可能になってきました。このような極細金属チューブの製造においては、曲げ加工や絞り加工時の表面形状や、表面への放電加工の状態、切断面の状態などを精度良く管理していく必要があります。しかし加工箇所が極小なので、これまでの解析方法では正しい評価ができないという課題がありました。

オリンパスのソリューション

オリンパスの3D測定レーザー顕微鏡 LEXTは、レーザーで微小な測定部位をスキャンして微細な表面形状や表面粗さを測定する顕微鏡です。非接触で測定するメリットを活かし、接触式のプローブのアプローチが非常に困難な微細な領域の形状もリアルに再現することができます。平面分解能は0.12μm、段差分解能5nmで、測定精度はトレーサブルです。
 

金属チューブ表面

surface of a metal tube_objective 20x_zoom 1x
対物レンズ20x ズーム1x

surface of a metal tube_objective 100x_zoom 8x
対物レンズ100x ズーム8x

切断断面評価

cutting surface evaluation_objective 20x_zoom 1x
対物レンズ20x ズーム1x

cutting surface evaluation_objective 100x_zoom 2x
対物レンズ100x ズーム2x

Olympus IMS
この用途に使用される製品

LEXT OLS5000は、非接触・非破壊で微細な3D形状の観察・測定が可能なレーザー顕微鏡です。 サブミクロンオーダーの微細な形状測定に優れ、スタートボタンを押すだけでオペレーターの習熟度に左右されない測定結果を得ることができます。 従来比4倍のデータ取得速度を実現し、専用長作動距離レンズや拡張フレームにより従来諦めていたサンプルも測定できるようになりました。
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