Solution microscopie
Fonctionnalités

Outils d'observation et d'analyse

Outils d’analyse de pointe

Les capacités d'observation polyvalentes de la série MX63 permettent d'obtenir des images claires et nettes. Les utilisateurs peuvent ainsi détecter de manière fiable les défauts dans leurs échantillons. Les nouvelles techniques d’illumination et options d'acquisition d’images incluses dans le logiciel d'analyse d’images OLYMPUS Stream proposent aux utilisateurs un choix plus large pour évaluer leurs échantillons et documenter leurs découvertes.


L'invisible devient visible : Observation MIX et acquisition

En combinant un fond noir avec une autre méthode d'observation, telle qu'un fond clair, la fluorescence ou la polarisation, la technologie d'observation MIX produit des images d'observation uniques. L'observation MIX permet aux utilisateurs de visualiser des défauts difficiles à observer avec des microscopes conventionnels.L'illuminateur circulaire à LED utilisé pour l'observation sur fond noir dispose d'une fonction de fond noir directionnel où un seul quadrant est illuminé à un instant donné. Outre qu’il réduit le halo de l'échantillon, cet illuminateur est utile pour observer la texture de surface d'un échantillon.

Structure sur un wafer de semi-conducteur

Structure sur un wafer de semi-conducteur - Fond clair

Plus

Structure sur un wafer de semi-conducteur - Fond noir

Flèche

Structure sur un wafer de semi-conducteur - MIX

Le motif du circuit intégré n'est pas clair.

La couleur du wafer est invisible.

La couleur du wafer et le motif du circuit intégré sont clairement représentés.

Résidus de photorésine sur un wafer de semi-conducteur

Résidus de photorésine sur un wafer de semi-conducteur - Fluorescence

Plus

Résidus de photorésine sur un wafer de semi-conducteur - Fond noir

Flèche

Résidus de photorésine sur un wafer de semi-conducteur - MIX

L'échantillon est invisible.

Le résidu est mal défini.

Le motif du circuit intégré et les résidus sont clairement représentés.

Condenseur

Condenseur - Fond noir

Flèche

Condenseur - Image composite

Flèche

Condenseur - MIX

La surface est réfléchie.

Plusieurs images avec un fond noir directionnel à partir d'angles différents.

En assemblant des images claires sans halo, une image nette de l'échantillon est créée.


Crée facilement des images panoramiques : MIA instantané

Avec un alignement d’images multiples (MIA), les utilisateurs peuvent rapidement assembler des images en déplaçant les boutons XY sur la platine manuelle. Une platine motorisée n'est pas nécessaire. Le logiciel OLYMPUS Stream utilise la reconnaissance des motifs pour générer une image panoramique. Le résultat est un champ de vision plus large pour les utilisateurs.

Créer facilement des images panoramiques : MIA instantané

Image d’une pièce en MIA instantané


Créer des images mises au point : EFI

La fonction d'imagerie à profondeur de champ étendue (EFI) d’OLYMPUS Stream capture des images des échantillons dont la hauteur dépasse la profondeur de mise au point de l'objectif et les empile pour créer une image parfaitement nette. La fonction EFI, qui peut être exécutée avec un axe Z manuel ou motorisé, crée une carte de la hauteur pour faciliter l'observation de la structure. Il est également possible de construire une image EFI hors connexion à l'ordinateur Stream.

Créer des images mises au point : EFI

Bosse sur une puce électronique


Capturer des zones lumineuses et des zones sombres avec la fonction HDR

À l'aide du traitement avancé des images, la plage dynamique élevée (HDR) règle les différences de luminosité pour réduire l'effet d’éblouissement. HDR améliore la qualité visuelle des images numériques et donne ainsi une qualité professionnelle aux rapports.

Capturer des zones lumineuses et des zones sombres avec la fonction HDR 01

Flèche

Capturer des zones lumineuses et des zones sombres avec la fonction HDR 01

Capturer des zones lumineuses et des zones sombres avec la fonction HDR 02

Flèche

Capturer des zones lumineuses et des zones sombres avec la fonction HDR 02

Certaines zones sont éblouissantes.

Les zones sombres et les zones lumineuses sont clairement exposées par la fonction HDR.

Le réseau TFT est noirci en raison de la luminosité du filtre de couleurs.

Le réseau TFT est exposé par la fonction HDR.


Des mesures de base à une analyse avancée

Les mesures sont essentielles pour le contrôle des processus et de la qualité ainsi que pour l'inspection. Dans cette optique, même le logiciel OLYMPUS Stream d'entrée de gamme comprend un menu complet de fonctions de mesure interactives. Tous les résultats sont enregistrés avec les fichiers image à des fins de documentation. De plus, les solutions Matériaux OLYMPUS Stream offrent une interface intuitive et orientée sur le flux des tâches pour l’analyse d’images complexes. Il suffit de cliquer sur un bouton pour exécuter avec précision des tâches d'analyse d’images. Le gain de temps apporté par le traitement des tâches répétitives permet aux opérateurs de se concentrer sur l'inspection à accomplir.

Des mesures de base à une analyse avancée 01

Mesures de base (motif sur une carte de circuit imprimé)

Des mesures de base à une analyse avancée 02

Solution pour l’analyse de la profondeur (section transversale d’un trou traversant de circuit imprimé)

Des mesures de base à une analyse avancée 03

Solution de mesures automatiques (structure de wafer)

> En savoir plus sur OLYMPUS Stream.


Génération efficace de rapports

Générer un rapport peut souvent prendre plus de temps que la capture de l’image et la prise des mesures. Avec son interface intuitive, le logiciel OLYMPUS Stream simplifie la génération répétée de rapports complexes fondés sur des modèles prédéfinis. L’édition est simplifiée et les rapports peuvent être exportés vers les logiciels Microsoft Word ou PowerPoint. La fonction de génération de rapports d’OLYMPUS Stream permet aussi de faire un zoom numérique et d'agrandir les images capturées. La taille des fichiers est raisonnable afin de faciliter l’échange de données par messagerie électronique.

Génération efficace de rapports

> En savoir plus sur OLYMPUS Stream.


Option d'appareil photo autonome

Avec un appareil photo DP22 ou DP27 pour microscope, la série MX63 devient un système autonome avancé. Les appareils photos peuvent être contrôlés via un boîtier compact. Peu encombrant afin d’optimiser l'espace du laboratoire, il n’en reste pas moins capable de capturer des images nettes et d’effectuer des mesures de base.

Option d'appareil photo autonome

Boîtier de commande de l'appareil photo

> En savoir plus sur le DP27.

> En savoir plus sur le DP22


Conception avancée pour renforcer la conformité des salles blanches

Conçue pour fonctionner dans une salle blanche, la série MX63 présente des caractéristiques qui minimisent le risque de contamination ou d’endommagement des échantillons. La conception ergonomique du système aide les utilisateurs à garder une position confortable, même lors d'une utilisation prolongée. La série MX63 est conforme aux spécifications et aux normes internationales, y compris SEMI S2/S8, CE et UL.

Intégration d'un chargeur de wafers en option ― Système AL120* 

Un chargeur de wafers peut être monté en option sur la série MX63 pour transférer en toute sécurité des wafers de silicium et des composés semi-conducteurs, depuis la cassette jusqu’à la platine du microscope sans utiliser de pinces ou de manipulateurs. Ses performances et sa fiabilité reconnues permettent de réaliser des inspections macro avant et arrière sûres et efficaces, tandis que le chargeur améliore la productivité du laboratoire.

Intégration d'un chargeur de wafers en option ― Système AL120

Microscope MX63 avec le chargeur de wafers AL120 (version 200 mm)

* Le AL120 n'est pas disponible dans la région EMEA.


Inspections rapides et propres

La série MX63 assure des inspections de wafers sans contamination. Tous les composants motorisés sont placés dans une structure blindée et un traitement antistatique est appliqué au statif, aux têtes, à l'écran anti-respiration, et à d'autres pièces. La vitesse de rotation des tourelles porte-objectifs motorisées est plus rapide et plus sûre que celle des tourelles manuelles, ce qui réduit le temps entre les inspections. L'opérateur peut également garder les mains sous le wafer et réduire ainsi le risque de contamination.

Inspections rapides et propres 01

Écran anti-respiration antistatique

Inspections rapides et propres 02

Tourelle porte-objectifs motorisée


Un système conçu pour des observations efficaces

La platine XY est capable d'effectuer des mouvements à la fois grossiers et fins grâce à l’association d'un embrayage intégré et de boutons XY. La platine améliore l’efficacité des observations, même pour des échantillons de grande taille, tels que des wafers de 300 mm.
La large gamme d’inclinaison des têtes d'observation permet de travailler dans une position confortable.

Un système conçu pour des observations efficaces 01

Poignée de platine débrayable

Un système conçu pour des observations efficaces 02

L’inclinaison de la tête d'observation assure une position confortable.


Accepte toutes les tailles de wafer

Accepte toutes les tailles de wafer

Porte-wafer et plaques en verre

Le système fonctionne avec différents types de porte-wafer et de plaques en verre de 150–200 mm et 200–300 mm. Si la taille des wafers doit être changée sur la ligne de production, le statif peut être modifié à moindre coût. Avec la série MX63, différentes platines peuvent être utilisées pour installer des wafers de 75 mm, 100 mm, 125 mm et 150 mm sur la ligne de production.

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