Olympus dispose de son propre scanner optique.

Le nouveau scanner MEMS effectue un balayage X-Y précis avec une faible distorsion du tracé de balayage et très peu d’aberrations optiques. Contrairement à certains microscopes laser qui ne peuvent éviter les fluctuations de mesures des zones périphériques, le microscope OLS5000 produit des résultats de mesure uniformes, que ce soit au centre ou en périphérie du champ d’observation.