Support de puce de grille de connexion
Inspection de la rugosité de supports de puce de grille de connexion
Lors de la fabrication de semi-conducteurs, une puce à circuit intégré (CI) découpée est récupérée et montée sur le support de puce d’une grille de connexion. Avant le montage final de la puce à circuit intégré, une substance adhésive (pâte de fixation de puce) est appliqué sur le support de puce. La pâte de fixation de puce peut être conductrice ou non conductrice, en fonction de l’application de montage. Les pâtes non conductrices sont composées d’époxyde, de polyimide ou d’autres types de résine. La rugosité du support de puce de la grille de connexion augmente l’adhésivité de la pâte de résine non conductrice. Par conséquent, il est essentiel de connaître la rugosité du support de puce de la grille de connexion pour la gestion de la qualité.
Plusieurs types d’instruments mesurent la rugosité de surface d’une substance, mais peu sont adaptés pour mesurer la rugosité d’une grille de connexion.
- La sonde de mesure d’une jauge de rugosité de type contact peut endommager la surface. Aussi, le diamètre de la pointe de ces sondes est généralement supérieur à 2 µm, les rendant inadaptées pour mesurer la rugosité de l’ordre du micromètre sur des objets aussi petits.
- Les interféromètres à lumière blanche ont une résolution faible en deux dimensions, et l’exactitude de leur acquisition de données de rugosité en trois dimensions XYZ est discutable.
La solution d’Olympus : mesurer la rugosité à l’aide du microscope OLS5000
Les mesures de rugosité à l’aide du microscope à balayage laser 3D LEXT OLS5000 d’Olympus sont plus exactes que les données de rugosité linéaire seules.
Avantages lors de la mesure de la rugosité de supports de puce de grille de connexion
Le microscope LEXT OLS5000 présente les avantages suivants lors de la mesure de la rugosité de supports de puce de grille de connexion :
- La mesure à balayage laser de la rugosité planaire vous permet d’acquérir des données plus exactes que les données de mesure de rugosité linéaire fournies par une jauge de rugosité à contact. Aussi, en utilisant l’assemblage des données, il est possible d’acquérir différents types de données assemblées ensemble horizontalement, ce qui vous permet de mesurer une grande surface du support de puce de grille de connexion.
- Étant donné qu’il n’y a aucun contact entre le microscope et la surface du support de puce, il ne peut être endommagé lors de la mesure. Et il n’est pas nécessaire de craindre une exactitude de mesure moins bonne due à une détérioration de la surface.
- Lors d’une mesure de rugosité en 3D avec une résolution horizontale de 0,12 µm, il est possible d’acquérir des données de haute précision.
- La rugosité est non seulement acquise sous forme de données numériques, mais elle est également acquise et affichée sous la forme de trois types de données d’image (couleur, laser et hauteur), ce qui vous permet de contrôler la texture en visualisant les données numériques sous forme d’images.
- Le microscope LEXT OLS5000 précise la surface de mesure et mesure la rugosité.
Une fois la mesure terminée, la surface est plus grande que la surface plane, car que la surface de rugosité est ajoutée à la surface de mesure. En comparant la surface de mesure à la surface post-mesure plus grande, il est possible d’acquérir des informations sur la surface en 3D en plus des informations sur la hauteur.
Image
Image de mesure montrant les données de rugosité planaire
