Para usuários sem um desenho CAD do layout do seu wafer,
a solução customizada de navegação em wafers oferece um processo de trabalho de medição em várias posições.
A solução define e navega para vários pontos no wafer para formação de imagem.
Para selecionar a solução de navegação em wafers,
use o processo de trabalho de soluções de materiais na janela de ferramentas à direita.
A área da imagem é sincronizada com a imagem real.
A barra de ferramentas de imagem à esquerda tem diferentes opções.
Exibir uma barra de escala.
Exibir uma mira.
A opção Atualizar exibição sincroniza a área da imagem com uma imagem real.
Selecione o fator de zoom para a imagem real na lista ou insira o valor.
A opção Ajustar à janela ajusta o zoom para exibir a imagem inteira.
Também é possível alternar entre imagens usando a janela de ferramenta da galeria.
O layout do wafer e seu alinhamento são definidos usando três posições determinadas no chip.
A área de processo de trabalho tem opções para realizar um alinhamento de três pontos
e navegar no wafer.
Você tem acesso direto a posições do chip baseadas em linhas e colunas individuais,
e a opção de definir uma lista de posições do chip com os pontos de interesse em um chip.
Esses pontos são usados para todos os movimentos para várias posições do chip.
Vamos definir o wafer.
Centralize um canto do chip do wafer.
Defina-o como o primeiro ponto de referência.
Por exemplo, linha 1, coluna 1.
Defina o segundo ponto de referência.
Para fazê-lo, mova a platina para outra coluna,
como a 10, e clique no botão "Set 2" (Definição 2).
Repita esse procedimento para o último ponto de referência.
Por exemplo, linha 10, coluna 10.
Na aba de definição de pontos de interesse, defina o seu primeiro chip.
Por exemplo, chip A na linha 1, coluna 1.
Agora você pode definir quantos pontos de interesse forem desejados neste chip.
Mova a platina para uma determinada posição,
selecione uma lente objetiva e insira um nome para este ponto de interesse.
Como opção, você pode usar uma correção de plano Z inclinado
ou foco automático para cada ponto de interesse.
Adicione outros pontos de interesse.
Reveja os seus pontos de interesse definidos
selecionando o ponto e clicando duas vezes no chip.
Vamos definir um segundo chip, por exemplo, chip B na linha 2, coluna 2.
Os três pontos de interesse do chip A também estão atribuídos nas mesmas posições no chip B.
Por exemplo, selecione o ponto 2 e clique alternadamente no chip A e no B.
Na janela de navegação sobre a amostra você pode ver como a platina se move
entre os dois chips, mas sempre fica no mesmo ponto em cada chip.
Você pode salvar e carregar a sua lista de posições para cada tipo de wafer.
Na aba de disposição da imagem você pode optar por capturar instantâneos
dos pontos de interesse ou adquirir imagens montadas em torno dos pontos.
Você pode salvar as imagens em diferentes formatos,
como arquivos TIFF ou JPEG comprimidos.
Aqui você pode definir o fator de compressão.
Vamos iniciar o escaneamento automático dos chips A e B.
Clique no botão "Start Scan" (iniciar escaneamento) e escolha a pasta para armazenar as imagens adquiridas.
Vamos observar o processo.
A solução para wafers move a platina para cada ponto de interesse
no chip A e no B, e adquire as respectivas imagens.
No ponto 3, o foco automático é executado.
Encontre as imagens de todos os pontos de interesse
do chip A e B em duas subpastas dedicadas.
Se você trocar o wafer na platina por outro,
o novo wafer poderá estar desalinhado horizontalmente.
Para realinhá-lo, defina o wafer com um procedimento de alinhamento de três pontos novamente.
Você pode iniciar um novo escaneamento imediatamente.
Para mais informações sobre a solução customizada de navegação em wafers,
acesse evidentscientific.com