Pour les utilisateurs qui n’ont pas de dessin DAO de la structure de leur wafer,
l’outil personnalisé « Navigate on Wafer » offre un processus de mesure multiposition.
Cet outil définit divers points sur le wafer et s’y déplace pour en faire des images.
Pour sélectionner l’outil « Navigate on Wafer 2.0 »,
vous devez aller dans « Materials Solutions » et choisir l’outil dans la fenêtre de droite.
La zone de l’image est synchronisée avec l’image en cours d’acquisition.
La barre d’outils de l’image à gauche offre différentes options :
affichage d’une échelle graphique,
affichage d’un réticule,
actualisation de l’affichage, qui synchronise la zone de l’image avec l’image en cours d’acquisition,
sélection du zoom pour l’image en cours d’acquisition, à partir de la liste ou par la saisie d’une valeur,
et adaptation à la fenêtre, qui règle le zoom pour afficher l’image complète.
Vous pouvez aussi passer d’une image à l’autre à l’aide de la fenêtre d’outils « Gallery ».
La configuration et l’alignement du wafer sont définis à l’aide de trois positions de puces données.
La zone de travail comporte des options pour la réalisation d’un alignement
à 3 points et pour l’exploration du wafer.
Vous avez un accès direct aux positions individuelles des puces en fonction des lignes et colonnes,
et pouvez définir une liste de positions de puces avec des points d’intérêt sur chaque puce.
Ces points sont utilisés pour tous les déplacements vers les diverses positions de puces.
Définissons le wafer.
Centrez un coin de la puce du wafer.
Définissez-le comme le premier point de référence.
Par exemple, indiquez que c’est la ligne 1 et la colonne 1.
Définissez le deuxième point de référence.
Pour ce faire, déplacez la platine vers une autre colonne,
comme la colonne 10, puis cliquez sur le bouton « Set 2 ».
Répétez cette procédure pour le dernier point de référence.
Par exemple, ligne 10, colonne 10.
Dans l’onglet « POI Definition », définissez votre première puce.
Par exemple, « Puce A » à la ligne 1 et à la colonne 1.
Vous pouvez maintenant définir autant de points d’intérêt que vous voulez sur cette puce.
Déplacez la platine jusqu’à une certaine position,
sélectionnez un objectif et entrez le nom de ce point d’intérêt.
Des fonctionnalités supplémentaires permettent une correction sur plan Z incliné
ou la mise au point automatique pour chaque point d’intérêt.
Ajoutez d’autres points d’intérêt.
Examinez les points d’intérêt que vous avez définis
en sélectionnant un point et en double-cliquant sur votre puce.
Définissons une deuxième puce, par exemple la puce B, à la ligne 2, colonne 2.
Les 3 points d’intérêt de la puce A sont aussi attribués à la puce B, avec les mêmes positions.
Par exemple, sélectionnez le point 2 et double-cliquez sur les puces A et B en alternance.
Dans la fenêtre d’exploration de l’échantillon, vous pouvez voir que la platine passe d’une
puce à l’autre, mais qu’elle reste toujours au même point sur chaque puce.
Vous pouvez enregistrer et charger votre liste de positions pour chaque type de wafer.
Dans l’onglet « Image Array », vous pouvez choisir de faire des captures instantanées
des points d’intérêt ou d’acquérir des images assemblées autour des points.
Vous pouvez enregistrer les images dans différents formats,
comme les formats TIFF, ou JPEG de qualité réduite.
Ici, vous pouvez définir le facteur de compression.
Lançons le balayage automatique pour les puces A et B.
Cliquez sur le bouton « Start Scan » et choisissez le dossier où vous souhaitez enregistrer les images acquises.
Observons le processus.
L’outil d’imagerie de wafer déplace la platine vers chaque point d’intérêt
des puces A et B et acquiert des images de ceux-ci.
Au point 3, la mise au point automatique est appliquée.
Vous trouverez les images de tous les points d’intérêt
des puces A et B dans les sous-dossiers qui leur sont dédiés.
Si vous remplacez le wafer qui est sur la platine par un autre,
il est possible que l’alignement horizontal du nouveau wafer soit incorrect.
Pour réaligner le wafer, suivez à nouveau la procédure d’alignement à 3 points.
Vous pouvez immédiatement lancer un nouveau balayage.
Pour en savoir plus sur l’outil personnalisé « Navigate on Wafer »,
rendez-vous sur evidentscientific.com.