High Resolution & High Contrast

특별히 제작된 이 모듈은 세부적인 반도체 및 나노
제조 검사를 위해 밝고 높은 명암의 deep ultraviolet 실시간이미지를 제공합니다

248 nm에 최적화된 광학 시스템은 80nm 해상도까지 제공하며, 가시광선을 사용할 때보다 2배 더 좋은 효과를 보입니다.
248 ± 4nm 이미징 밴드는 색수차를 방지하기 위해 설정되었습니다. 이 기술은 전처리없이 높은 콘트라스트와 고해상도 특징을 모두 관찰할 수 있게 합니다. 일반적으로 DUV 관찰이 활용되는 어플리케이션은 반도체 패턴, 마그네틱 헤드의 간격과 극 식별 및 microlithography 등 의 세부적인 검사시에 쓰입니다.

Deep Ultraviolet 관찰

가시광선 관찰

새롭게 설계된 강력한 DUV 대물렌즈

DUV 대물렌즈

DUV 렌즈는 고유의 "non-cemented" 기술을 갖고 오랜 시간 사용하여도 성능이 저하되는 일을 방지하기 위해 특별히 설계되었습니다.

모듈 디자인

외장형 램프하우스를 통해 유연성과 안전성을 향상

Deep Ultraviolet 관찰 모듈

DUV 시스템의 모듈화는 OLYMPUS MX와 BX 시리즈 현미경과 통합뿐만 아니라, 수은-제논 전원 공급 장치는 현미경에서 독립되어 직접적으로 UV 가이드를 통해 DUV 모듈의 조명으로 사용할 수 있습니다. 셔터 디자인은 DUV 대물렌즈와 카메라에 조명이 직접적으로 향하게 하여 사용자를 보호합니다. 또한, 현미경으로부터 분리된 광원은 독립적으로 최적의 레벨로 컨트롤 할 수 있어 샘플에는 최소한으로 열이 전달되도록 합니다.

실시간 영상

고해상도의 DUV 디지털 카메라는 소프트웨어에 의해
조절되어 고속의 데이터 획득이 가능합니다. 컴퓨터에서 획득된 이미지는 빠르게 문서화되고 분석되어 데이타베이스와 리포트 생성을 위해 쉽게 저장되어 집니다.

경제성과 효율성

경량화, 소형화

DUV interdediate tube는 별도로 변경하는 파트나 외부 조절이 필요없습니다. 이 튜브는 기존 DUV 현미경 시스템의 절반의 무게와 크기를 갖고 있습니다.

Mercury Xenon 램프의 효율성

램프하우스와 파워공급장치

오랜 시간 사용가능한 머큐리 제논 램프는 DUV 모듈의 파워에 사용됩니다. 평균 사용시간은 1000시간 이상으로 운용비용을 줄일수 있고 램프교체를 최소화 할 수 있습니다.

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Integration of Deep Ultraviolet optical units with a compatible microscope frame enables a DUV observation microscope. For the detail of compatible microscopes, refer to the Specification of each microscope.

Deep-ultraviolet Observation Units

List of Compatible Microscopes

> MX61A: Motorized Model Compatible with 300mm Wafers while Enabling Integrated Control over Peripheral Devices
> MX61L/ MX61: Motorized Model Compatible with 300 mm/ 200 mm Wafers
> MX51: Manual Model Compatible with 150mm Wafers