高い解像力

色収差補正光学系で明るく高コントラストな深紫外線観察像を実現

深紫外線248nmに最適化した光学系により、可視光の2倍以上の分解能を実現しました。深紫外域にもかかわらず248±4nmと広い波長で色収差補正されています。照明光を効率よく使用できるので明るくシャープな深紫外域観察像が得られ、低反射率の銅配線などの標本に有効です。より微細化する半導体パターンや磁気ヘッドスライダのギャップ、ポールなどの検査、マイクロリソグラフィーなどに応用できます。

深紫外線観察

可視光観察

接合部を用いない新DUV対物レンズ

DUV対物レンズ

DUV対物レンズは、当社保有「無接合レンズ」設計製造技術を採用しました。新開発のDUV対物レンズは接合材を使わずに、18群18枚のレンズ群を高精度に組み上げています。深紫外線の長時間照射でも、DUV対物レンズの高い性能を維持します。

高い拡張性

深紫外線用ランプハウスを分離してシステム設計の自由度をアップ

深紫外線観察ユニット

深紫外線用鏡筒から熱源となるランプハウスを分離し、独立した光源ユニットにしました。照明光はUVライトガイドを通して光源ユニットから鏡筒に導かれるため、机上への設置やレイアウトが容易になります。また、光源ユニットの前面ダイヤル操作により無段階に調光でき、サンプルに最適な明るさにできます。石英ファイバによりDUV光の均一な照明が得られます。

リアルタイム観察

ソフトウェアでコントロールするDUVカメラにより、DUV画像のリアルタイム観察が可能です。取得した画像を即座にレポートに利用可能です。

高い経済性

小型コンパクト、低コスト

DUV鏡筒は操作部のないシンプルな構造にしました。ランプ部も分離することができ、従来の専用機に比べ質量で約1/2の小型、軽量化を実現しました。さらにコストでも約1/2に抑えることができます。

高長寿命水銀キセノンランプを採用

光源ボックス

深紫外線照明には、平均1000時間の高長寿命水銀キセノンランプを採用しました。ランプ交換の手間とランニングコストを低減します。

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深紫外線観察ユニットを、対応する顕微鏡に搭載することにより深紫外線観察が可能な顕微鏡となります。対応する顕微鏡の仕様については、各顕微鏡の仕様をご参照ください。

深紫外線観察ユニット

対応顕微鏡一覧

> MX61A: 周辺機器を統合的に制御可能な300mmウエハ対応電動モデル
> MX61L/ MX61: 300 mm/ 200 mm ウエハに対応可能な電動モデル
> MX51: 150mmウエハに対応可能なマニュアルモデル