検査効率を考慮したデザイン

主要操作部をフロントパネルに集中配置

フロントパネル [1]落射調光ダイヤル [2]対物倍率変換 [3]明るさ絞り開閉ボタン

コントラストの決定に重要な役割を果たす明るさ絞り（AS)の開閉調整は、対物レンズの切換えや観察モードと連動しておりボタンひとつで操作できます。また、指1本で操作できるように調光ダイヤルもフロントパネルに配置しているので、検査のスピードアップが図れます。対物レンズと明るさ絞り（AS）のボタンはそれぞれ斜めに配置されており、フォーカスハンドルから手を離さずに、親指の動きだけで楽に操作することができます。 この斜めのボタンレイアウトにより、指先での感知性を高め誤操作を防ぎます。

観察姿勢がすばやくとれるティルティング鏡筒

ティルティング鏡筒イメージ

自分のアイポイントに合わせるために椅子の高さを調整したり、無理な姿勢で検査したりしているようでは、タイムロスが大きく作業スピードも落ちてしまいます。0°から42°（可変高さ150mm、SEMI S8対応）の幅広いティルト角をもつティルティング鏡筒を装備しているので、検査する人の体格に関係なく楽な観察姿勢がとれ、立ち検査も可能です。また、この鏡筒は観察中心軸からアイポイントまでの距離を長くとっているため、大きなステージでも楽に操作ができます。

高感度ステージによりすばやい位置決めが可能

クラッチ内蔵ステージグリップ

300mmウエハ/17インチパネルサイズ対応のMX-SIC1412R2ステージは大きな透過照明範囲（Y方向284mm）を有しています。また、クラッチ内蔵のステージグリップにより、粗微動の切換えができるので、顕微鏡をのぞいたままで自由にステージ移動がおこなえ、スピーディに検査することができます。

鮮明な観察像と卓越した解像力を誇る光学系

最適な光学系を豊富なシリーズから選択

対物レンズは試料への照明と観察を兼ねる光学顕微鏡の最も重要なユニットです。オリンパスは多彩な観察方法や、長作動、近赤外光用、LCD検査用などに対応した幅広いラインナップから最適な対物レンズを選ぶことができます。

観察画像例
明視野観察	暗視野観察	微分干渉観察	蛍光観察

> UIS2対物レンズの詳細はこちら

ソフトウェアインテグレーション

デジタルイメージング対応

MX61Lでは、顕微鏡の電動機能の情報をパソコンから読み取ることができます。つまり画像撮影時に、その対物レンズの倍率を自動的に保存できます。これにより、処理・解析のための信頼できる画像情報を確実に記録できます。

デジタルカメラによるデジタル画像の記録・保存が可能

三眼鏡筒にはデジタルカメラを付けることが可能です。デジタル画像の保存、記録が可能で、レポート作成などに効果を発揮します。デジタルカメラは画質、機能、使い勝手などの面から用途に応じて選ぶことができます。

> デジタルカメララインアップはこちら
> 画像解析ソフトウエアラインアップはこちら

欠陥検出をサポートする多彩な機能

高速対物レンズ切換えで検査スピードが向上

電動レボルバイメージ

電動レボルバの切換えスピードを従来に比べ20%向上させました。対物レンズの切換えが、ボタン操作で瞬時におこなうことができ検査スピードが上がります。レボルバはニーズに合わせて4種類のクリーンタイプを選ぶことができます。さらにUIS2対物レンズでは、高倍率での偏心精度を大幅に向上させました。小さなサイズの撮像素子を持つCCDカメラでも、倍率を切り換えたときに視野の中心付近から外れることはありません。

対物レンズを変えるだけで明るさ絞り（AS）も調整完了

AS自動調整イメージ

対物レンズを変換するたびに明るさ絞り（AS）の調整をおこなっていたのでは、検査のスピードが落ちてしまいます。MX61Lは対物レンズごとに観察法とAS（14段階）を設定することができるため、対物レンズを切り換えるだけで最適なコントラストで観察できます。対物レンズの変換や観察モードの切換え時におこなっていたAS調整の手間をゼロにし、スピードをアップとともにオペレータの疲労を軽減します。

さまざまな観察を実現するアクセサリ

安全にすばやくウエハをステージに搬送

オートローダAL110(200mm仕様)組合せ

MX61Lはウエハ搬送装置と組み合わせることができ、組合せ時でもフットプリントが小さくなるよう設計されています。裏面マクロからミクロ検査まで、ピンセットレスで安全かつスピーディにおこなえます。また、ウエハカセットのセットも前から楽におこなえるようになっています。オプションのリモコンボックスを使えば、不良ウエハの登録や開始、収納が手元でおこなえます。

近赤外観察ユニット

可視域から近赤外域まで収差補正された対物レンズと赤外用超広視野三眼鏡筒など、近赤外対応のユニットを各種取り揃えています。ウエハバンプの接合面の観察などに威力を発揮します。

近赤外観察ユニット

ボンディングパッド

蛍光観察ユニット

蛍光観察への対応は、スライダへのミラーユニットの追加で可能になります。U,B,G励起のミラーユニットが用意されており、有機ELや残留レジストの検査や解析に有効です。

蛍光ミラーユニット

蛍光観察

透過照明ユニット

透過照明ユニット

フォトマスクやFPD検査に対応する透過照明ユニットを用意しました。ポラライザの搭載により、透過簡易偏光観察が可能です。汎用のタイプAと高NA（開口数）のタイプBの2種類があります。

トップに戻る