検査効率を考慮したデザイン

高感度ステージによりすばやい位置決めが可能

クラッチ内蔵ステージグリップ

MX51の主要操作部は前面に配置しているので、オペレータからは容易に操作でき、長時間の操作においても疲労を軽減します。また、専用の150mmステージはクラッチ内臓のステージグリップにより、素早いステージ移動を可能にします。

高速対物レンズ切換えで検査スピードが向上

電動レボルバイメージ

電動レボルバの切換えスピードを従来に比べ20%向上させました。対物レンズの切換えが、ボタン操作で瞬時におこなうことができ検査スピードが上がります。レボルバはニーズに合わせて4種類のクリーンタイプを選ぶことができます。さらにUIS2対物レンズでは、高倍率での偏心精度を大幅に向上させました。小さなサイズの撮像素子を持つCCDカメラでも、倍率を切り換えたときに視野の中心付近から外れることはありません。

鮮明な観察像と卓越した解像力を誇る光学系

最適な光学系を豊富なシリーズから選択

UIS2対物レンズは、さまざまな倍率構成、特殊な用途の対物レンズなど幅広いラインアップから用途に合わせて選択できます。さらに、波面収差コントロールによる高い品質、サンプルに忠実なニュートラルな色つきなど、目視観察からデジタルイメージングにいたるまで高い性能を発揮します。

観察画像例
明視野観察	暗視野観察	微分干渉観察	蛍光観察

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ソフトウェアインテグレーション

デジタルカメラによるデジタル画像の記録・保存が可能

三眼鏡筒にはデジタルカメラを付けることが可能です。デジタル画像の保存、記録が可能で、レポート作成などに効果を発揮します。デジタルカメラは画質、機能、使い勝手などの面から用途に応じて選ぶことができます。

> デジタルカメララインアップはこちら

さまざまな観察法を実現するアクセサリ

近赤外観察ユニット

可視域から近赤外域まで収差補正された対物レンズと赤外用超広視野三眼鏡筒など、近赤外対応のユニットを各種取り揃えています。ウエハバンプの接合面の観察などに威力を発揮します。

近赤外観察ユニット

近赤外観察

蛍光観察ユニット

蛍光観察への対応は、スライダへのミラーユニットの追加で可能になります。U,B,G励起のミラーユニットが用意されており、有機ELや残留レジストの検査や解析に有効です。

蛍光ミラーユニット

蛍光観察

透過照明ユニット

透過照明ユニット

フォトマスクやFPD検査に対応する透過照明ユニットを用意しました。ポラライザの搭載により、透過簡易偏光観察が可能です。汎用タイプと高NA（開口数）タイプの2種類があります。

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