工業用顕微鏡

BXiS

BXiS

システム工業顕微鏡「BXiS」は、優れた光学性能と画像処理技術により、ユーザのそれぞれのスタイルにフィットします。対物レンズの切り替えを自動で読み取る「コードレボ」や新開発の画像解析ソフトウエア「OLYMPUS Stream」との組み合わせにより、シームレスでフレキシブルな操作環境を実現します。

研究・検査を効率的に、トータルにサポートするBXiSシステム

シームレスで効率的なワークフロー

BX51M, OLYMPUS Stream
BX51M, OLYMPUS Stream
BXiSはハードウエアとソフトウエアが融合したシステムとしてより柔軟にカスタマイズすることで、本当の使いやすさを実現します。BXiSシステムに搭載された画像解析ソフトウエアOLYMPUS Streamの優れた操作性で、サンプルをセットしてからレポートを作成するまでのすべての作業をきめ細かくサポート。複雑な作業も効率的に行えるので、検査や研究の時間を有効に使うことができます。

目的にあわせて最適なシステムを構築

BXiSの特長は、ニーズや予算に合わせて最適なマニュアルまたは電動システムを提案できることです。ご要望にお応えするハードウエアとソフトウエア・パッケージを組み合わせ、理想のシステムをカスタマイズします。

最新のIT環境に適応

BXiSはWindows7 32bit/64bit及びMicrosoft Office 2010に対応しており、最新のIT環境での快適な操作を可能にしています。さらに今後の情報処理・通信技術の発展により重要性が高まる、ネットワークを利用したデータ管理にも対応できる機能を備えています。

ワークフローを快適にサポートするOLYMPUS Stream

使いたい機能に迷わずアクセス

OLYMPUS Stream ユーザーインターフェース
OLYMPUS Stream ユーザーインターフェース
画像キャプチャからレポート作成まで作業の過程ごとに必要なツールウインドウのみを表示することで、使いたい機能に迷わずアクセスできます。
ワークフロー1: 画像キャプチャ
ワークフロー1: 画像キャプチャ
ワークフロー2: 計測
ワークフロー2: 計測
ワークフロー3: 解析(粒子解析)
ワークフロー3: 解析(粒子解析)
ワークフロー4: レポート作成
ワークフロー4: レポート作成

ツールウインドウを自由にレイアウト

作業しやすいようにツールウインドウを自由にレイアウトし、ワークフローに沿った操作画面を作成することができます。目的別に必要な機能を集約し、レイアウトを個別に設定、保存することも可能です。

Microsoft Officeとのシームレスな連携

計測や解析の結果得られたグラフ、表、統計データなどは画像とともにMicrosoft Wordフォーマットのレポートとして出力することができます。画像の拡大/縮小や印刷倍率の設定、画像情報の追加などがレポート上で行えます。またテンプレートやヘッダは社内ルールに合わせて自由に作成または変更することができます(.dot形式のテンプレートが使用できます)。Microsoft Wordで作成されるため、新たに編集操作を覚える必要はありません。

よく使う機能をまとめて「お気に入り機能」登録

ルーチンワークで使う機能をワークフローとしてまとめて「お気に入り機能」ウインドウに登録できます。繰り返し操作を効率化し、誰にでもスムースに使いこなすことができます。

多彩なツールで画像取得をシンプルに

正確な計測のための自動スケール表示

対物レンズの倍率にあわせたスケールの設定は、正確な画像計測の第一歩です。BXiSでは電動レボルバによる対物レンズ倍率情報の自動読み込み、またマニュアルシステムではコードレボルバ(コードレボ)により対物レンズ倍率情報の自動読み込みを行うことができます。これにより正しい倍率で測定が確実に行われ、モニタには正しいスケール、レポートには正しい計測結果が表示されます。

正確な計測のための自動スケール表示
電動レボルバまたはコードレボルバによるスケールの自動切換

キャリブレーションレポート

顕微鏡設定の記録は、製造工程でのトレーサビリティや品質管理の観点から重要となります。OLYMPUS Streamでは、画像取得時に使用した対物レンズの種類や倍率・ピクセルサイズ・キャリブレーション値などの情報をキャリブレションレポートとして保存できます。またシステム設定情報や画像情報は、情報スタンプとして取得した画像に重ねて表示することができます。

焦点深度を超えるインスタントEFI

インスタントEFI(拡張焦点機能)を使うことにより、段差のある複雑な表面形状のサンプルも全面にフォーカスが合った画像を簡単に構築できます。上から下へ(また下から上へ)フォーカスハンドルを手で回すだけで、シャープな全焦点画像がリアルタイムに作成され、保存することができます。

通常画像
通常画像
EFI画像
EFI画像

シームレスなパノラマ画像を作成するマニュアルMIA

プラチナワイヤー断面の貼り合わせ画像
プラチナワイヤー断面の貼り合わせ画像
観察対象範囲が大きく顕微鏡の視野に入りきらない場合でもマニュアルMIA(画像貼り合せ機能)により、シームレスで高
解像のパノラマ画像が簡単に作成できます。必要な部分のみをキャプチャして貼り合わせるので、作業を効率的に進めることができます。また、インスタントEFIとの併用も可能です。

サンプルや用途にあわせて最適なシステムを

BXiS 電動システム工業顕微鏡-BX61

BX61TRF/BX-RLAA/U-AFA2M/DP72
BX61TRF/BX-RLAA/U-AFA2M/DP72
BXiS 電動システム工業顕微鏡 BX61はレボルバ、投光管、ステージ上下動などが電動制御できるシステム顕微鏡です。観察時の条件をきめ細かく設定し、顕微鏡本体のボタンやパソコンのキー、ハンドスイッチにその情報を割り当てることができます。サンプルの種類が多岐にわたる場合や複数のオペレータでシステムを共用する際にも、ボタン一つまたはワンクリックで観察条件を読み込み、同じ条件で観察することができます。

BXiS 電子部品検査用工業顕微鏡-BX41M-LED

BX41M-LED/BX-AKMA-LED/DP21
BX41M-LED/BX-AKMA-LED/DP21
BX41M-LEDは、人体や環境から発生する静電気によるサンプルの破壊を守るESD性能を備えています。磁気ヘッドをはじめとする精密電子部品の検査に最適です。

BXiS 装置組込み型システム工業顕微鏡-BXFM-A、BXFM

BXFM/BXFM-ILH/BX-RLA2
BXFM/BXFM-ILH/BX-RLA2
装置組み込み用電動顕微鏡として、電動落射投光管と焦準機構を一体化したコンパクトなBXFM-Aを用意しています。準焦部(レボルバ駆動)、明暗視野の切換、開口絞り調整、調光をソフトウエアから制御できるBXFM-Aは、アプリケーションごとに最適な観察条件の設定が可能です。さらに、アクティブオートフォーカス(U-AFA2M)を搭載することもできます。
またマニュアルモデルとしては、小型明視野投光管用のBXFM-Sとアーム一体型投光管取付け用のBXFMの2モデルをラインアップしています。

幅広いラインアップから最適な対物レンズを選択

オリンパスUIS2対物レンズシリーズは幅広い、充実したラインアップからご希望の観察方法に最適な対物レンズを提案いたします。150種類以上の豊富なラインアップからアプリケーションに対応する対物レンズを選択することができます。厳選された透過率が高い硝材と先進のコーティング技術を組合せることで、UIS2対物レンズはサンプルを自然な色合いで観察することができます。

用途に応じた豊富なラインナップ
磁気ヘッド(明視野観察)
磁気ヘッド(明視野観察)
DVD(明視野観察)
DVD(明視野観察)
ウエハ(蛍光観察)
ウエハ(蛍光観察)
カラーフィルタ(透過観察)
カラーフィルタ(透過観察)
用途に応じた豊富なラインアップ
MPLAPON プランアポクロマート
MPLFLN プランセミアポクロマート
MPLFLN-BD 明・暗視野用プランセミアポクロマート
MPLFLN-BDP 落射偏光用プランセミアポクロマート
LMPLFLN 長作動距離プランセミアポクロマート
LMPLFLN-BD 明・暗視野用長作動距離プランセミアポクロマート
MPLN プランアクロマート
MPLN-BD 明・暗視野用プランアクロマート
SLMPLN 超長作動距離プランアクロマート
LCPLFLN-LCD 液晶用長作動距離プランセミアポクロマート
LMPLN-IR/LCPLN-IR 赤外線観察用長作動距離プランアクロマート/赤外線観察用プランアクロマート

> UIS2対物レンズの詳細はこちら

ニーズに応じたデジタルカメラ

DP72

DP72 高解像・高感度・高フレームレート・優れた色再現性を実現したハイエンドモデルのDP72 は光学顕微鏡の全ての観察方法に対応し、どのようなサンプルでも最高レベルの画像を取得することができます。取得画像は1280 万画素相当の高精細画像として保存することができます。

DP73

DP72 DP73は画素シフト方式により1728万画素相当の高精細画像が取得できるハイエンド機です。201万画素非圧縮カラー画像を15フレーム/秒で表示、またダイナミックレンジを拡げ暗い部分、明るい部分をバランスよくライブ観察できるWiDER仕様もあります。

DP26

DP26はサンプルに忠実な色再現を実現する500万画素高精細顕微鏡用デジタルカメラです。目視観察のような自然な色合いでかつプログレッシブスキャンにより色ずれのない良好なライブ画像をモニタで観察、ワンクリックで画像を保存することができます。

DP21

色再現性に優れた200万画素の高精細ライブ画像を高フレームレートで表示する、明視野観察に適したデジタルカメラです。パソコンを使用しないスタンドアロンモデルは基本機能を内蔵したハンドスイッチを採用し省スペースと簡単操作を実現しています。また画像解析ソフトウエアOLYMPUS Stream から制御することも可能です。

> デジタルカメララインアップはこちら
> デジタルカメラ仕様比較表はこちら

基本計測から高度な画像解析まで

計測機能

計測操作
計測操作
顕微鏡による検査や品質管理では計測は欠かせない機能です。OLYMPUS Stream では距離・角度・四角形・円・楕円・多角形などを基本計測としてご用意しています。計測はマウスを使って簡単に行うことができ、計測結果は画像上またはデータ表にすぐに表示されます。OLYMPUS Stream Basic 以上のパッケージでは計測結果をMicrosoft Excel に出力することができます。

カウントと計測(粒子解析)

対象物を検出してサイズなどの分布を出力する画像解析は、デジタルイメージングの中で重要なアプリケーションの一つです。OLYMPUS Streamでは、しきい値を最適に設定することで対象物(粒子やキズ)を確実に検出することができます。

マテリアルソリューション

OLYMPUS Streamではより専門的な解析ソフトウエアをマテリアルソリューションとしてラインアップしています。操作手順が多い解析でもウイザード画面に従ってボタンをクリックしていくことで、確実に操作ができます。これにより工業標準に沿った解析結果を素早く正確に得ることが可能です。

デジタル化時代のソリューション

ネットワーク経由でデータを共有

OLYMPUS Stream およびデジタルカメラはネットワークの時代にマッチした快適なアプリケーションを提供いたします。オプションのNetcam 機能(OLYMPUS Stream Essentials
以上に対応)を使用すれば、インターネットを経由して複数の場所からリアルタイムで同一画像を観察できます。
またデジタルカメラDP21 組合せではコントロールボックスを介してネットワークに接続し、共有サーバーへの画像保存や読み込みを行うことができます。

Microsoft Office 2010 に対応

測定結果やレポートはMicrosoft Office のアプリケーションソフトウエアのファイル形式で出力されるため、誰でも簡単に取り扱うことができます。OLYMPUS Stream はMicrosoft Office2010 に対応しています。

Windows 7 64bit バージョンに対応

Windows 7 64bit バージョンに対応したOLYMPUS Stream。飛躍的なデータ処理スピードを実現しています。200 万個以上の対象物を抽出・カウントするといった、従来は結果を得るまでに時間がかかるような解析や不可能だった複雑な解析に対しても、スムースに対応できます。

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BX61/ BX51/ BX51M/ BX41M-LED仕様
BX61BX51BX51MBX41M-LED
光学系 UIS2光学系(無限遠補正)
本体 照明 落射/透過切換 落射専用 落射専用(ESD対応)
12V100W電源別置き
ライトプリセットスイッチ
12V100W電源内蔵
ライトプリセットスイッチ
LED電圧インディケータ
落射透過切換スイッチ
12V100W電源内蔵
ライトプリセットスイッチ
LED電圧インディケータ
3W白色LED用電源内蔵
ライトプリセットスイッチ
焦準 電動焦準
ストローク25mm
最小分解能0.01μm
焦準ストローク25mm
微動ハンドル一回転100μm
最小目盛1μm
上限ストッパ、粗動ハンドル重さ調整機構付
最大標本高さ 25mm 65mm
鏡筒 広視野
(視野数22)
倒立: 双眼、三眼、ティルティング双眼鏡筒
正立: 三眼、ティルティング双眼鏡筒
超広視野
(視野数26.5)
倒立: 三眼鏡筒
正立: 三眼、ティルティング三眼鏡筒
落射照明 明視野他 BX-RLAA
電動明暗視野切換
電動AS
BX-RLA2
100Wハロゲン(高輝度光源取付可、ファイバ照明対応)
BF/DF/DIC/KPO
FS、AS(心出し機構付)、BF/DF連動NDフィルタ
BX-KMA-LED/BX-AKMA-LED
3W白色LED
落射明視野/
落射ノマルスキー微分干渉/
落射簡易偏光
ESD対応
BX-AKMA-LEDのみの機能
落射偏斜
AS(心出し機構付き)
偏斜位置出し機構付き
落射蛍光 BX-RFAA
電動6ポジションターレット
電動シャッタ内蔵
FS、AS
BX-URA2
100W水銀ランプ、75Wキセノンランプ(どちらかを選択)
6ポジションミラーユニットターレット(標準: WB、WG、WU+BF他)
FS、AS(心出し機構付)、シャッタ機構付
透過照明 100Wハロゲン
アッベ式/長作動距離コンデンサ
透過照明フィルタ(LBD, ND25, ND6)内蔵
-
レボルバ 明視野用 電動6穴 5穴コードレボ、6穴、6穴心出し、7穴各種(電動オプション) 5穴、5穴コード(倍率読み出し、ESD対応)、6穴、6穴心出し、6穴(ESD対応)、7穴
明暗視野用 電動5穴、電動5穴心出し、電動6穴 5穴、5穴心出し、5穴コードレボ、6穴各種(電動オプション) -
ステージ 共軸左下(右下)ハンドル: 76(X)×52(Y)mm、トルク調整付
大型共軸左下(右下)ハンドル: 100(X)×105(Y)mm、Y方向ロック付
ESD性能 - 表面抵抗 108 Ω 以下
除電時間 0.2秒以下*
外形寸法(mm) 約317.5(W)×602(D)
×541(H)
約317.5(W)×602(D)
×480(H)
約317.5(W)×602(D)
×480(H)
約283(W)×455(D)
×480(H)
質量 25.5kg(本体のみ11.4kg) 20.8Kg(本体のみ10.3kg) 19.5kg(本体のみ9.8kg) 14kg(本体のみ6.7kg)

*1000Vに帯電させ、100Vまで放電する時間

BXFM-A仕様
BXFM-A
光学系 UIS2光学系(無限遠補正)
本体 焦準 電動
ストローク:実行ストローク5mm(レボルバ起動)
駆動分解能:0.01μm
最高速:5mm/s
コントロール BX-UCB(コントロールボックス)
制御:RS232C コマンド、ハンドスイッチによるスタンドアロン制御、画像解析ソフトウエアOLYMPUS Stream による制御
取付 本体左側面及び底面のネジ穴により取付可、左側・側面ともM8-10(6箇所)
鏡筒 広視野
(視野数22)
倒立: 双眼、三眼、ティルティング双眼鏡筒
正立: 三眼、ティルティング双眼鏡筒
超広視野
(視野数26.5)
倒立: 三眼鏡筒、結像レンズ直筒
正立: 三眼、ティルティング三眼鏡筒
落射照明系 明視野他 BXFMA-F
落射明・暗視野専用投光管
切換方式:電動BF/DF キューブ切換
電動開口絞り:電動による連続可変
視野絞り:マニュアルノブによる開閉
内蔵フィルタカセット:マニュアルIN/OUT、
フィルタサイズφ32
光源:100W ハロゲン
( 高輝度光源取付可、ファイバ照明対応)
レボルバ 明視野用 電動6穴
明暗視野用 電動5穴、電動5穴心出し
組合せ可能ユニット オートフォーカス U-AFA2M:アクティブレーザー方式
対物レンズ倍率:5x~150x対応
フィルタターレット U-FWR: 6ヶ穴フィルタターレット(光源側に装着)
フィルタサイズ: ø25またはø32
外形寸法 206(W)×334(D)×133(H)mm(本体のみ)
質量 7.6kg(本体のみ)

BXFM仕様
BXFMBXFM-S
光学系 UIS2光学系(無限遠補正)
本体 焦準 マニュアル
焦準ストローク30mm、微動ハンドル一回転200μm、最小目盛2μm、
粗動ハンドル重さ調整機構付
取付 BXFM-F(BXFM 本体)背面のネジ穴より取付可、M8-8(4 箇所)または支柱取付穴より取付可、
支柱取付用穴径φ32
鏡筒 広視野
(視野数22)
倒立: 双眼、三眼、ティルティング双眼鏡筒
正立: 三眼、ティルティング双眼鏡筒
超広視野
(視野数26.5)
倒立: 三眼鏡筒
正立: 三眼、ティルティング三眼鏡筒
落射照明 明視野他 BX-RLA2
100Wハロゲン(高輝度光源取付可、ファイバ照明対応)
BF/DF/DIC/KPO
FS、AS(心出し機構付)、BF/DF連動NDフィルタ
U-KMAS
100Wハロゲンファイバ照明対応
BF/DIC/KPO
落射蛍光 BX-URA2
100W水銀ランプ、75Wキセノンランプ
6ポジションミラーユニットターレット(標準: WB、WG、WU+BF他)
FS、AS(心出し機構付)、シャッタ機構付
-
レボルバ 明視野用 5穴、5穴コード(倍率読み出し)、6穴、6穴心出し、7穴 オプション:電動6穴
明暗視野用 5穴、5穴心出し、5穴コード(倍率読み出し)、
6穴 
オプション:電動5穴、電動5穴心出し、
電動6穴
-
外形寸法 約248(W)×587(D)×249(H)mm 約394(W)×334(D)×276(H)mm
質量 約9kg(標準組合せ) 約6.2kg(標準組合せ)

目的に応じて最適なイメージを

暗視野観察

実装基板
実装基板
対物レンズ光学系の周辺部にあるリング状のスリットを通して照明光をサンプルに当て、表面の段差により発生する散乱光・回折光を観察します。光学顕微鏡の分解能よりも小さなキズや欠陥の存在が認識でき、サンプル表面の微細なキズや欠陥の検出、ウエハなど鏡面の表面検査に最適な観察方法です。

偏光観察

Polarized Light
アスベスト
偏光を利用してサンプルの複屈折を鮮やかな干渉色で観察できます。干渉色はサンプルを回転させることによりそのサンプル固有の性質で変化します。金属組織、鉱物、液晶(LCD)や半導体材料などの観察に最適です。

DIC(微分干渉)観察

Differential Interference Contrast (DIC)
磁気ヘッド
明視野観察では見えないサンプルの微小段差にコントラストをつけることにより、立体的に可視化する観察方法です。サンプルの特性に応じて最適な解像度とコントラストが得られるよう3種類の微分干渉プリズム(U-DICR、U-DICRH、U-DICRHC)を用意しています。金属組織や鉱物の観察、磁気ヘッド、ハードディスク表面、ウエハ研磨表面の異物やキズの検査などに最適です。

蛍光観察

Fluorescence
半導体ウエハ上の異物
ある波長域の励起光を照射しサンプルから発する蛍光を観察します。ウエハ表面の異物検出、レジスト残渣、蛍光探傷法によるマイクロクラック検出などに有効です。光源として、可視光から近赤外光までをムラなく観察できるように色収差補正したアポクロマートタイプのキセノン、水銀光源を用意しています。

近赤外線(IR)観察

Infra-Red (IR)
シリコン層下の半導体パターン
近赤外線を透過するシリコン層で覆われた電子デバイスの内部を非破壊で観察することができます。またIR対物レンズ単独ではラマン分光やYAGレーザーを用いたレーザーリペアなどのアプリケーションで使用されています。
※赤外顕微鏡システムカタログを別途ご用意しています。

画像処理フィルタ

Processing Filter
画像フィルタ(微分コントラスト強調)
OLYMPUS Streamではエッジ抽出、平滑化、微分コントラスト強調などの各種フィルタを用意しています。取得した画像を
フィルタ処理することで、サンプルの特徴をより強調して可視化することができます。プレビュー画面でフィルタ処理の効果を確認できるため、最適な画像処理を効率よく行えます。

透過照明観察

Transmitted Light Observation
LCD カラーフィルタ
液晶カラーフィルタや透明プラスチック、ガラス素材など、光を透過するサンプルの観察方法です。透過照明コンデンサを含む透過照明系により、明視野、暗視野、偏光のいずれにも対応可能です。

3D画像構築

Automated 3D Image Creation (EFI)
コインの微小突起
焦点深度以上の段差をもつサンプルに対し電動顕微鏡や電動Zユニット(Prior社製)を使用することで、高さ方向に複数の
画像を素早く取得、拡張焦点画像を合成することができます。さらに、この時取得した画像データから3次元画像を構築することができます。3次元画像ではサンプルの立体的特徴を視覚的に捉えることができ、高さ方向の簡易計測も可能です(高さの簡易計測は2次元画像で行います)。
※推奨の電動Zユニットについての詳細は、販売店にお問合せください。

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OLYMPUS Stream - 3D Imaging and Measurements

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OLYMPUS Stream - コードレボのコントローラU-CBSの設定と操作

OLYMPUS Stream - 粒度解析(切断法)

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BXiS 正立金属顕微鏡システム

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