レーザー顕微鏡

オリンパスのレーザー顕微鏡は光源に採用したレーザー光と共焦点光学系により、通常の光学顕微鏡より高分解能な像を得ることができます。また、3Dの立体画像を合成することにより高精度な高さ計測も可能です。

LEXT OLS4000は非接触で試料の検査・測定が可能な3D測定レーザー顕微鏡です。正確な測定性能に加え、非接触表面粗さ測定機として従来の粗さ測定機では不可能だった測定を可能にします。直感的にわかりやすいソフトウエアにより誰でも容易に操作可能です。

OLS3500はミリからナノまでを一台でカバーするナノサーチ顕微鏡です。光学顕微鏡で欠陥をスピーディに検出し、検出した欠陥箇所をレーザー顕微鏡、さらにはプローブ顕微鏡で観察、計測が可能です。複数の顕微鏡を使用しても困難だったことを1台で可能にしました。