光学測定装置

KIF-PU-F

平面用透過波面測定干渉計 KIF-PU-F

平面用透過波面測定干渉計KIF-PU-Fは平面光学部品の透過波面および反射波面を解析するための干渉計システムです。特に光ピックアップ用光学素子の生産ラインにおいて、プリズムやミラーの透過波面および反射波面評価に最適なシステムです。

  1. 測定対象物の反射角仕様に合わせた測定が可能
    折り返し用の反射平面の角度が変更可能になっており、測定対象物の反射角仕様に合わせた測定が可能です。また、ビームススプリッタ等の透過波面、反射波面を同一の反射平面で測定可能です。

  2. 405nm帯レンズ・650nm帯レンズの測定が可能
    405nm光源と658nm光源の2波長を標準搭載し、簡単なオペレーションで測定波長の切り換えが行えるため、どちらの光学部品の評価にもお使いいただけます。

  3. 直線/円偏光切替が可能
    ピックアップ光学部品に使用される偏光依存性を持つ被検物の測定には直線/円偏光切換が必要です。プラスティックや結晶等の複屈折を持つ部品の透過波面測定に最適です。

  4. 小型・高剛性
    小型で高剛性な本体は、生産現場での使用環境を考慮しているため場所を取らず、迅速な品質検査に対応します。

  5. 合否判定が可能
    専用ソフトウェアにて、任意に設定可能な規格値と合否判定設定機能により、生産ラインにおいての合否判定を容易に行うことが可能です。

平面用透過波面測定干渉計 KIF-PU-F:仕様
測定波長 405nm、658nm(レーザクラス2製品)
干渉方式 トワイマン・グリーン
測定光束径 ø6mm
測定可能径:ø2〜6mm
測定可能サイズ

2mm角〜10mm角程度(プリズム、ミラー等)
角80mm、厚み1mm〜5mm、反射角45°(平面ミラーカット前基盤)
*角度調整治具等の使用時

反射平面ミラー精度 λ/30(有効径ø6mm内)
反射平面回転可動範囲 50°〜180°(測定可能反射角:0°および25°以上)
反射ミラー稼動範囲 ±2°
偏光仕様 円・直線切換
倍率 1×、3×(デジタル倍率切換)
フォーカス 有り
解析方式 フリンジスキャン方式
装置質量 本体: 約26kg(パソコンを除く)
装置寸法 本体: 330(W)×465(D)×370(H)mm
電源仕様 100−240V AC
50-60Hz、100VA
使用環境 水平で振動がない場所(床振動±0.8m/s2以下)
温度: 23±3°C
湿度: 60%以下、結露なきこと

*本装置はトレーサビリティ体系に則った絶対精度を保証するものではありません。

透過波面測定干渉計 KIF-PU:ソフトウェア

特長

1.解析結果表示機能

・P-V, RMS, Pwr
・ザイデル収差(チルト、フォーカス、アス、コマ、球面収差)
・Zernike係数(3、4、9、16、25、36項)
・三次元鳥瞰図、二次元カラーマップ
・断面プロファイル(X、Y方向、PV、RMS)
・合否判定結果

2.ファイル入出力機能

・ワークパラメータの保存と読込み
・フリンジデータの保存と読込み
・マスクデータの保存と読込み
・画面レイアウトの保存と読込み
・メインウインドウ印刷

3.マスク機能

・マスク設定(四角形、円形、多角形、自動マスク)
・自動マスク設定

4.ワークパラメータ設定機能

・製品名、ユニット名、コメント
・波長(405/658)
・フィッティング次数(3/4/9/16/25/36)
・収差除去(収差指定/Zernike係数指定)
・表示単位(λ、μm、nm、フリンジ)
・Zernike係数に対するオフセット設定
・規格値(各収差指定およびユーザー定義式)

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