
干渉縞解析装置KIF-FU60/FU100干渉縞解析ソフトKIF-FSAはKIF-20/KIF-402シリーズの干渉計に取り付けて被検品の波面位相をフリンジスキャン方式で取得し、測定結果を表示保存するための干渉縞解析システムです。
省スペース
自社開発のピエゾコントローラとノートパソコンの採用により、省スペース化を実現しました。
測定スピードの向上
画像データの取り込みや解析アルゴリズムの改善により、測定スピードが向上しました。
自動アラインメント可能
3軸ピエゾステージ(オプション)との組合せにより、干渉縞をヌルにするためのアラインメント作業を自動化することができ、作業効率を向上させることができます(球面測定時)。
解析ソフトの高機能化
自動アラインメント機能を始めとする解析ソフトを一新し、細かいニーズにも対応できるように改善しました。
デジタルズーム機能
デジタルズームで1 倍から3 倍まで0.1 倍ごとに倍率を設定できますので、小さいワークの確認もしやすくなっています。
2D、3Dカラー画像表示
2Dカラー画像表示により波面の位相と断面形状の確認ができます。また、3D画像により波面の位相がより視覚的に表現できます。
合否判定機能
規格値を設定することで、生産ラインでの合否判定が容易にできます。また、ユーザ定義の収差に対する規格値の設定も可能です。
画面のカスタマイズが可能
画面のレイアウト状態の保存・読み出し機能により、使用場面や製品に合わせたレイアウト設定が可能です。
| 干渉縞解析装置,干渉縞解析ソフト KIF-FU100,KIF-FSA:仕様 | |
| 項目 | KIF-FSA |
| 解析方法 | フリンジスキャン方式 |
| 測定縞条件 | 正弦波状強度分布の干渉縞(多重干渉の干渉縞解析は不可) |
| 干渉縞表示画像サイズ | 640×470(ピクセル) |
| 再現性 |
PV値:0.01λ(2σ)以下
RMS値:0.003λ(2σ)以下 |
| 解析機能 | PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3及びZernike係数の解析と表示 |
| 合否判定機能 | PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3等の規格値設定と合否の表示 |
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3軸ピエゾステージ
ストローク(オプション) |
粗動:± 3mm(XYZの各軸)
微動:12μm(XYZの各軸) |
| 使用環境 |
水平で振動がない場所(床振動±0.8/s2以下)
温度:23±3°C 湿度:60%以下、結露なきこと |
※測定時の設置環境により充分な性能が発揮できない場合がございます。
※本装置はトレーサビリティに則った絶対制度を保障するものではありません。
ワークパラメータ設定機能
・ 製品名、ユニット名、コメント
・ フィッティング次数(3/4/9/16/25/36)
・ 収差除去(収差指定/Zernike係数指定)
・ 表示単位(λ、μm、nm、フリンジ)
・ Zernike係数に対するオフセット設定
・ 規格値(各収差指定およびユーザー定義式)
解析結果表示機能
・ P-V、RMS、Pwr
・ ザイデル収差(チルト、フォーカス、アス、コマ、球面収差)
・ Zernike係数(3、4、9、16、25、36項)
・ 三次元鳥瞰図、二次元カラーマップ
・ 断面プロファイル(X、Y方向、PV、RMS)
・ 合否判定結果
ファイル入出力機能
・ ワークパラメータの保存と読込み
・ フリンジデータの保存と読込み
・ マスクデータの保存と読込み
・ 画面レイアウトの保存と読込み
・ メインウインドウ印刷
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