小型・簡単操作
小型で設置場所にスペースを取らないため生産現場での使用に適しています。また被検物のセット、アライメント等がスピーディにできます。

測定口径２段切り換可能
ハードディスク基板サイズに適した倍率に切り換えができますので、ハードディスク測定面一杯にして測定できます。

豊富なオプション群
各種ø102参照レンズ（Zygoマウント互換）が使用できます。干渉縞解析装置（KIF-FU100）を取り付ければ高精度な縞解析が可能です。

口径ø152にも対応可能
オプションのアパーチャコンバータを使用すれば6インチ口径に変換できます。