オリンパスはこの最も難しい部類の検査に対してOmniScan PA等のフェイズドアレイ装置を使ったソリューションを提供します。このソリューションは、16~64個の振動素子を曲面に沿って配置したリニアアレイプローブを用いてコーナー部全体を網羅するよう順番に超音波ビームを発生させて行います。プローブには適切なホルダーを取り付けて使用します。また、プローブの曲面形状により、各超音波ビームがコーナー部の全表面と90度の角度を成すため、フラットパネル検査と同じように検査ができます。このような用途にOmniScan PAを使用する主なメリットは、1回の簡単なスキャンでコーナー全体を検査できることです。標準設定での検査速度に関しては、最高速度200 mm/sで1つのコーナーに沿った検査が可能です。Copyright 2011 OLYMPUS CORPORATION, All rights reserved. |利用規約|個人情報保護方針/プライバシーポリシー