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Adquisición de imágenes de gran calidad a través de silicio sin dañar el producto acabado

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procesamiento de imágenes microscópicas en el espectro de infrarrojo cercano

Lentes de objetivo de luz infrarroja para ofrecer una solución llave en mano dedicada al procesamiento de imágenes digitales de infrarrojo cercano

El protocolo de análisis de fallos típico para la microelectrónica requiere la capacidad para inspeccionar patrones de circuitos de forma no destructiva a través de obleas de silicio, manteniendo además la integridad mecánica del producto acabado. Las técnicas no invasivas, como el procesamiento de imágenes microscópicas en el espectro de infrarrojo cercano, permiten llevar a cabo inspecciones directamente a través de obleas de silicio hasta con un espesor de 650 μm. Entre estas aplicaciones destacan: la inspección para detectar cortocircuitos dentro de un producto (marcas de quemaduras, indicadores de estrés, etc.), la alineación de adherencia (análisis de marcas de alineación entre los circuitos unidos finamente), la inspección después de un ensayo eléctrico (cualquier tipo de fallo) y daños en el chip (defectos en materiales, contaminación, etc.).

Los requisitos de la mayoría de laboratorios de I+D y ensayos de fallos, que implican la medición de defectos, creación de informes y almacenamiento imágenes, motivan a la aplicación de una solución digital. Debido a la naturaleza inherente de esta aplicación, el contraste natural es mínimo y debe optimizarse usando el software de análisis de imágenes. La falta de uniformidad de la iluminación crea degradación u oscurecimiento en las esquinas de la imagen hasta el centro, y debe eliminarse digitalmente de la imagen en vivo y capturada. Mientras que la microscopía de luz reflejada es ideal para iluminar una muestra desde la parte superior, la luz infrarroja transmitida ha sido desarrollada para aportar luminosidad a una muestra debajo del silicio desde la parte inferior de la muestra, proporcionando un contraste superior. Esto permite que la luz transmitida sea especialmente útil para la inspección de la alineación de patrones o para marcas de referencia a través de obleas de silicio.

Sistema digital de infrarrojo cercano completo

Nuestra serie UIS2 de lentes de objetivo de luz infrarroja especiales ofrecen una solución llave en mano para el procesamiento de imágenes digitales de infrarrojo cercano. La última generación de lentes de objetivo de infrarrojo cercano UIS2 proporciona una transmitancia incrementada en el espectro de infrarrojo cercano y permiten configurar collares de corrección (lentes de objetivo 20x, 50x y 100x) para un espesor de obleas de silicio específico, maximizando la transmitancia y el rendimiento. La cámara digital XM10-IR de Olympus proporciona imágenes de alto contraste en todo el espectro de infrarrojo cercano hasta 1100 nm, al mismo tiempo que mantiene un gran campo de visión gracias al sensor CCD de gran formato de 2/3 pulg. El software de análisis de imágenes OLYMPUS Stream® controla por completo la cámara XM10-IR, a diferencia de otras soluciones de procesamiento de imágenes IR, para proporcionar corrección de sombreado en directo y maximizar la uniformidad de las imágenes en todo el campo de visión. Además, el usuario puede maximizar fácilmente el contraste de la imagen en las imágenes IR en vivo y capturadas. El software Stream de OLYMPUS también permite efectuar mediciones precisas en cualquier parte dentro del campo de visión de la imagen, generar informes automáticamente y almacenar imágenes y datos pertinentes.

Nuestra solución completa de infrarrojo cercano es ideal para el procesamiento de imágenes y la inspección de alta calidad a través de obleas de silicio y está formada por:

  • Microscopio vertical compuesto de luz infrarroja (serie BX) o microscopio especial compuesto para inspección de pastilla de luz infrarroja (serie MX) (los microscopios de luz infrarroja de la serie MX permiten observaciones de luz infrarroja transmitida y luz reflejada de forma simultánea)
  • Lentes de objetivo UIS2-IR
  • XM10-IR con cámara digital FireWire CCD de 1,4 megapíxeles y alta sensibilidad
  • Software de análisis de imágenes OLYMPUS Stream

Empiece a obtener resultados inmediatamente

Nuestro sistema digital de infrarrojo cercano llave en mano proporciona la capacidad para adquirir imágenes de alta calidad por debajo de obleas de silicio, efectuar mediciones precisas, generar informes convincentes y almacenar imágenes; todo sin dañar el producto acabado. Además, el uso de un sensor digital de infrarrojo cercano permite eliminar la retención y el desfase de las imágenes tan usuales de una cámara de tubo analógico de sulfuro de plomo. Esta solución completa también es fácil de utilizar: los usuarios con conocimientos básicos en microscopía y procesamiento de imágenes podrán empezar a obtener resultados inmediatamente.

Imágenes adquiridas con varias lentes del objetivo UIS2-IR, un microscopio vertical compuesto BX2M-IR, una cámara digital XM10-IR y el software Stream de Olympus:

Lente del objetivo UIS2-IR de 10x
 

Lente del objetivo UIS2-IR de 20x
 

Lente del objetivo UIS2-IR de 50x
 

Lente del objetivo UIS2-IR de 100x
 

Product Applications Manager, Industrial Microscopes

Rob Bellinger is a product applications manager for industrial microscopes at Evident. He has been part of Evident for more than 15 years. He currently provides application support for our industrial microscope systems in the US, Canada, and Latin America. 

septiembre 12, 2017
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