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Evaluación de la forma de las series de lentes moldeadas Photomask mediante una máscara de escala de grises/ Medición del perfil superficial en 3D, sin contacto, con un microscopio láser


1. Aplicación

La máscara de escala de grises es una tecnología usada para fabricar moldes para microlentes de formas complejas u otros productos formados por microestructuras 3D de alta calidad. La máscara de escala de grises se utiliza para la creación de patrones en 3D; un revestimiento de resina es irradiado por un láser de escala múltiple para crear un patrón en 3D (Figura 1). Medir la forma 3D de la resina después de la irradiación es esencial para el control de calidad. Dado que el patrón 3D se daña fácilmente, la medición sin contacto es necesaria para verificar su integridad.

2. Solución Olympus

El microscopio de escaneo láser en 3D LEXT de Olympus permite procesar imágenes tridimensionales sin contacto de una forma cóncava o convexa de una máscara de escala de grises con altos niveles de resolución y contraste. Gracias a las lentes de objetivo con altas aperturas numéricas y al sistema óptico diseñado para obtener un rendimiento máximo del láser de 405 nm, el microscopio LEXT puede capturar el perfil de pendientes irregulares de forma precisa. Todo ello permite conseguir perfiles 3D fiables y reproducibles (Figura 1). Además de medir la forma de las muestras, los usuarios también pueden visualizar con claridad las irregularidades diminutas usando la interferencia diferencial del láser.

Patrón cóncavo
Máscara de escala de grises 凹 ob50×
Lente de objetivo 50x, 50x, Zoom 1x
Máscara de escala de grises 凹 ob50× 3D
Lente de objetivo 50x, 50x, Zoom 1x
Máscara de escala de grises 凹 ob100× 3D
Lente de objetivo 100x, 100x, Zoom 1x
Patrón convexo
Máscara de escala de grises 凸 ob50×
Lente de objetivo 50x, 50x, Zoom 1x
Máscara de escala de grises 凸 ob50× 3D
Lente de objetivo 50x, 50x, Zoom 1x
Máscara de escala de grises 凸 ob100× 3D
Lente de objetivo 100x, 100x, Zoom 1x

Figura 1. Procesamiento de imágenes de patrones cóncavos y convexos usando el microscopio LEXT

Figura 2. Proceso de fabricación de la lente usando una máscara de escala de grises.

Paso 1

  1. Revestimiento de resinas
    Revestimiento de resinas
    Aplicación de resinas al vidrio.
     
  2. Esquema (irradiación láser)
    Esquema (irradiación láser)
    Irradie la resina con un haz láser de escala múltiple para crear una resina positiva.
    El área irradiada se expone y se ablanda.
     
  3. Remojo en el revelador
    Remojo en el revelador
    Desarrolle la resina y olvídese de las regiones innecesarias. La evaluación del perfil 3D durante esta fase es clave para el control de calidad.

Paso 2

  1. Galvanoplastia
    Galvanoplastia
    Aplique el revestimiento a la resina.
     
  2. Grabado
    Grabado
    Disuelva la resina a través del grabado y dé la vuelta a la placa para completar el original (molde de metal).

Paso 3

  1. Utilice la termocompresión para unir la película al molde metálico.
    Utilice la termocompresión para unir la película al molde metálico
     
  2. Impresión
    Impresión
    Despegue la película del molde metálico y voltéela.
     
  3. Moldeo de resina
    Moldeo de resina
    Vierta la resina en la película.
     
  4. Finalizar
    Finalizar
    Solidifique la resina y sáquela del molde de película para completar la lente.
Olympus IMS

Productos para la aplicación
NEW

El microscopio de escaneo láser LEXT™ OLS5100 combina precisión y rendimiento óptico a un nivel excepcional junto con herramientas inteligentes que facilitan su uso. Las tareas de medición precisa y submicrométrica con respecto a la forma y la rugosidad superficial son rápidas y eficientes, lo que simplificará su flujo de trabajo y proporcionará datos de alta calidad en los que puede confiar.

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